公司新聞 >
TSP鈦升華泵和NEG泵可以獨立使用或者與離子泵組合獲得超高真空真空/極高真空環(huán)境。與離子泵組合可以使系統在更短的時(shí)間內達到超高真空
性能:
全系列無(wú)振動(dòng)、免維護的鈦離子泵、鈦升華泵 (TSP) 和非蒸發(fā)型吸氣劑(NEG) 泵,可在超高真空中實(shí)現出眾的極限壓力。
在超高真空下具有高抽速
無(wú)烴真空
長(cháng)時(shí)間運行
整體解決方案
抽速 0.2 - 1200 l/s
極限真空 < 1 x 10-11mbar