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一、簡(jiǎn)單得說(shuō),這三個(gè)概念分別對應氣體的真空應用設備種類(lèi)繁多,但無(wú)論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統,以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來(lái)說(shuō):一個(gè)真空處理用的容器,用管道和閥門(mén)將它與真空泵連接起來(lái),當真空泵對容器進(jìn)行抽空時(shí),容器上要有真空測量裝置,這就構成了一個(gè)最簡(jiǎn)單的真空抽氣系統(如圖1)。
圖1:最簡(jiǎn)單的真空系統圖
圖1所示的最簡(jiǎn)單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度,當需要獲得高真空范圍內的真空度時(shí),通常在圖1所示的真空系統中串聯(lián)一個(gè)高真空泵。當串聯(lián)一個(gè)高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門(mén),以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個(gè)油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個(gè)捕集器——水冷障板(如圖2所示)。根據要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,這樣就構成了一個(gè)較完善的高真空系統。
圖2:高真空系統簡(jiǎn)圖
凡是由兩個(gè)以上真空泵串聯(lián)組成的真空系統,通常都把抽低真空的泵叫做它上一級高真空泵的前級泵(或稱(chēng)前置泵),而最高一級的真空泵叫做該真空系統的主泵,即它是最主要的泵,被抽容器中的極限真空度和工作真空度就由主泵確定。被抽容器出口到主泵入口之間的管路稱(chēng)為高真空管路,主泵入口處的閥門(mén)稱(chēng)為主閥。
通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱(chēng)為予真空管路,該管路上的閥門(mén)稱(chēng)為予真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱(chēng)為前級管道,該管路上的閥門(mén)稱(chēng)為前級管道閥,而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動(dòng)而設置的。
總起來(lái)說(shuō),一個(gè)較完善的真空系統由下列元件組成:
1、抽氣設備:例如各種真空泵
2、真空閥門(mén)
3、連接管道
4、真空測量裝置:例如真空壓力表、各種規管
5、其它元件:例如捕集器、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。
那么,究竟什么是真空系統?用一句話(huà)來(lái)概括,就是:用來(lái)獲得有特定要求的真空度的抽氣系統。
真空系統設計的基本內容:是根據被抽容器對真空度的要求,選擇適當的真空系統設計方案,進(jìn)行選、配泵計算;確定導管、閥門(mén)、捕集器、真空測量元件等,進(jìn)行合理配置,最后劃出真空系統裝配圖和零部件圖。